装置の仕様

・真空度：〜10^-８Ｐａ

・低エネルギー質量分離イオン蒸着・照射ライン

・試料交換サブチャンバー

・５軸試料マニピュレータ

・表面解析ツール：

　低速電子回折法

　低エネルギーイオン散乱法

装置仕様

・電子励起プラズマ装置

・プラズマガス圧： 6×10^-2Pa〜 １×10^-1Pa

　ＲＦプラズマ：〜５００Ｗ

・膜の電気特性“その場”測定

　　　ホール係数、比抵抗測定

　　　温度範囲：３００Ｋ 〜４０Ｋ

装置仕様

　　　　　　 到達真空1ｘ10^-5Pa

    　　　　　RFパワー　〜500W